液晶面板制造用设备

UV固化照射装置（液晶面板制造用设备）

适用于TFT-LCD液晶面板的贴合工艺，将液晶面板贴合所用的Seal材料，通过UV紫外线的照射在较短时间内进行固化，从而起到了提高生产效率，降低生产成本的效果。

主要用途

• ・适用于TFT-LCD液晶面板的贴合工艺
• ・将液晶面板贴合所用的Seal材料，通过UV紫外线的照射在较短时间内进行固化

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光刻设备・液晶面板

光配向（液晶面板制造用设备）

主要用途

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光刻设备・液晶面板

准分子(Excimer)灯（液晶面板制造用设备）

【126nm／146nm／172nm／222nm／308nm】 封入氙气的准分子(Excimer)灯，（诱电体屏障放电Excimer灯） 可有效放射波长180nm以下的VUV，（真空紫外线） 达到快速的化学反应与反应速度。

主要用途

• ・HDD光碟洗净
• ・阻剂剥离
• ・阻剂残渣的剥离
• ・塑料基板的洗净
• ・金属表面的清洗与重组
• ・Low-k Cure
• ・PDP萤光体评估
• ・分析评估前的洗净
• ・气体分解
• ・形成氧化膜
• ・防止带电
• ・干燥
• ・玻璃胶膜的贴合
• ・纤维的改质
• ・有机EL封装管的接合性提高
• ・有机EL的工作函数増加

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光刻设备・液晶面板