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ED-3000

腔室:SUS(氯乙烯)制
转速:0~3,000rpm
基板尺寸:Φ1 Inch~Φ12 Inch
(220×220mm)
互锁:真空吸附确认传感器
腔室外盖互锁
喷嘴移动越位限制器
药液压力推送:加压泵压力推送式
药液送出:喷洒式送出
(摆动喷嘴式)
电源:AC 200V 3相 15A
步骤数目:48步
带有跳过、复制功能
尺寸:720W×500H(910H)×520D
(mm/阀门打开时)
编程模式:10种模式
重量:60kg
工艺工序:显影液:1系统(2喷嘴)
(标准) 冲洗:1系统(2喷嘴)
后冲洗:1系统
主要可选项:药液温度管理系统
(加压方式)
各种基板架
设置用工作台
使用药液:酸性显影液

※规格可能会未经通知发生变更









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