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ED-1200

腔室: SUS(氯乙烯)制
转速: 0~3,000rpm
基板尺寸: Φ1 Inch~Φ6 Inch
(150×150mm)
互锁: 真空吸附确认传感器
腔室外盖互锁
喷嘴移动越位限制器
药液压力推送: 使用内置泵
药液送出: 喷洒式送出
(摆动喷嘴式)
电源: AC 100V 4A
步骤数目: 96步
带有跳过、复制功能
尺寸:550W×440H(740H)×400D
(mm/阀门打开时)
编程模式 10种模式
重量 33kg
工艺工序(标准)显影液:1系统
冲洗:1系统
后冲洗:1系统
主要可选项:药液温度管理系统
(加压方式)
各种基板架
设置用工作台
使用药液: 酸性显影液

※规格可能会未经通知发生变更






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