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超高压UV灯【365nm/405nm/436nm】

在与设备商之共同开发体制的背景之下、迎合设备制造厂各种需求、开发出获得好评且值得信赖的曝光制程用UV灯。

100w~35kw等级、产品系列齐全,是最适合提高产能、并改善良品率等的光源提案。

此外、顾客新设备的开发方面,我们亦配合开发适用的灯具。

特征

最适合曝光制程的紫外线波长
在紫外线波长中,USHIO的超高压UV灯仍可有效运用3线(436nm・405nm・365nm)波长,
是长效型、且具有稳定放射照度的高亮度光源。

发挥光学系最大性能的点状光源
弧形大小极接近点状光源,易于集中与扩散光学系统上的光,因此可以得到均匀的照度分布。

配合半导体、液晶・彩色滤光片・PDP以及印刷基板用线路成形等各种用途的灯输出
因应回路与类型烧付照度需求的提高、
小型(100w级)~超大型(35kw级)为止、适用各尺寸的灯具。

发挥现有设备最大性能的高照度
因应现有设备Throughput提高的需求、即使仅使用高照度灯、亦可望确实提高产能。
※部分设备商产品则必须实施设备改造。

对应需求波长的灯具开发
配合顾客新设备的开发,开发出最适合的灯具。详情请洽询。


紫外线寿命特性


主要数据资料
分光分布(超高压UV灯)


分光分布(Deep UV灯)


主要用途

・半导体回路形成用光源
・液晶回路形成用光源
・彩色滤光片回路形成用光源
・电浆显示器回路形成用光源
・印刷电路板回路形成用光源
・MEMS回路形成用光源
・检查用光源
・其他新的曝光用途等

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