USHIO|牛尾贸易(上海)有限公司

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紫外线光阻剂硬化/CHARGE ERASE装置「UNIHARD」

紫外线照射装置,在LSI制造生产联机使用的紫外线阻剂固化、及电荷消除装置。

配备超高压UV灯与EXCIMER灯,应用在提升乾蚀刻时的耐电浆性、离子注入时的阻剂脱气与烧制、电荷消除、疲乏消除、及 Low-k Cure等各种用途。

特征

・高照度、均一度照射
初期照度是650mw/cm2以上(220~320nm)、且照度均匀度保证在±10%。

・采用依据SEMI规定之装载接口的EFEM(φ12寸装置)
φ12寸用装置、采用装载接口(依据SEMI) 的EFEM、
以及搬运系统 采用无尘快速的2Finger搬运机器人、以达到高Throughput。

・采用WindowsNT PC的高操作性与以GEM300为准(φ12寸装置)
φ12寸用装置采用Windows NT PC,达到极佳的操作性。亦符合GEM300规定。

・灯管装置更换容易
灯管更换时无须调整,并降低装置的停机时间。

・配备照度一定方式与积累计算曝光方式(φ12寸装置:选购配备)
使用照度一定方式、并积累计算曝光方式、达到制程的稳定化与一致化。

・丰富的产品系列
对应φ6寸用装置(可与φ5寸以下共用)、φ8寸用装置( 可与φ6寸以下共用)、
以及φ12寸专用装置等所有工具匣。此外,亦备有准分子(Excimer)灯的φ8寸用装置。



2Finger搬运机器人


灯光装置

主要用途

・提高乾蚀时的耐电浆性
・离子注入时的阻剂脱气及烧入
・电荷消除与消除疲乏
・Low-k Cure
・薄膜磁头之层间绝缘膜形成
・化合物半导体的Lift-Off工程
・表面改质
・CCD与CMOS影像仪的去色(bleaching)等



产品咨询

华北:13811185764(金泉)


华东:13611871935(戴怡淳)

测试机介绍

可使用产品进行各种测试。详细内容请洽询。
※可能无法满足部份要求内容、敬请见谅。

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