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准分子(Excimer)灯【126nm/146nm/172nm/222nm/308nm】

封入氙气的准分子(Excimer)灯,
(诱电体屏障放电Excimer灯)
可有效放射波长180nm以下的VUV,
(真空紫外线)
达到超越以往的化学反应与反应速度。

特征

・单一波长、低温处理
因为是单一波长,因此可选择会引起化学反应的紫外线,
并可达到不使对象物产生非必要反应或热的低温处理。

・高效率
从电力转换为光能源的效率高(172nm型的转换率10%),即使低电力亦可产生大的能量。

・可瞬间亮灯灭灯
仅于必要时照射必要量的能量,因此具备「不需要快门」、
「实际上可延长使用寿命」等各种优点。

・安装方向不受限制
灯的亮灯方向不受限制,可配合生产线做立面照射。



分光分布


半导体制程用装置实例


液晶制程用装置实例


主要用途

・HDD光碟洗净
・阻剂剥离
・阻剂残渣的剥离
・塑料基板的洗净
・金属表面的清洗与重组
・Low-k Cure
・PDP萤光体评估
・分析评估前的洗净
・气体分解
・形成氧化膜
・防止带电
・乾燥
・玻璃胶膜的贴合
・纤维的改质
・有机EL封装管的接合性提高
・有机EL的工作函数増加

产品咨询


华北:13811185764(金泉)


华东:13611871935(戴怡淳)


测试机介绍

提供使用产品的实验或测试机。测试后可直接购买。※部份使用目的与用途等无法配合需求。敬请见谅。

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