更小,更薄,更细微。电子产业的进步,带动「光」的历史。

■光加热(成膜・扩散)
拥有其他热源所不具备的急速升降温性能,在不接触的情况下高精度的控制温度,实现光加热。USHIO从光源到流水线对应各种需求。
■曝光
USHIO从光源到光源技术,搬运,校对,电气,软件,是唯一一家独立开发曝光装置主要技术的公司。

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